無限遠(yuǎn)95MM平場復(fù)消色差(Plan NUV APO) f′=200mm（鏡筒管鏡）近紫外物鏡 光譜范圍350nm-700nm
這套近紫外鏡頭覆蓋光譜從360nm開始到700nm, 特別適合激光器365nm, 目前是國內(nèi)唯一無掩膜光刻晶圓產(chǎn)品供應(yīng)商。產(chǎn)品透過率高，成像清晰。廣泛應(yīng)用于各類芯片半導(dǎo)體等工業(yè)領(lǐng)域。
放大倍數(shù) Magnification | 規(guī)格型號(hào) Model | 數(shù)值孔徑 NA | 工作距離 WD(mm) | 焦距 f’ (mm) | 分辨率 R (μm) | 焦深 DF (μm) | 物方視場 on object (mm) | 像方視場 on image (mm) | 螺紋尺寸 Screw |
20x | NUV-20X | 0.32 | 23.9 | 10 | 0.70 | 2.17 | 1.3 | 26.0 | M26 |
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