100X EUV 極紫外光刻物鏡
我們?cè)谠O(shè)計(jì)并加工一套266nm鏡頭的經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)上,又設(shè)計(jì)了一套193nm的極紫外成像鏡頭,其參數(shù)如表格所示。
(我們也接受客戶的委托設(shè)計(jì)其它光譜的光學(xué)系統(tǒng),比如157nm, 121nm等)
這套193nm鏡頭,是我們的最新的設(shè)計(jì)。逐步投入生產(chǎn),推向市場(chǎng)。我們也接受客戶定制其它非標(biāo)準(zhǔn)類光學(xué)系統(tǒng)。