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全自動(dòng)XYZ方向顯微鏡，廣泛應(yīng)用于工業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)，Z軸方向超大行程, 解決了在工業(yè)顯微鏡行業(yè)軸行程受限的問(wèn)題，此設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)穩(wěn)固結(jié)實(shí)，承重能力強(qiáng)。


型號(hào)			VUM-V	VUM-H	VUM-LB	VUM-4LB
相機(jī)接口方向			縱向	橫向	縱向	縱向
觀察成像			正像	正像	正像	正像
光學(xué)系統(tǒng)	相機(jī)接口	光學(xué)特點(diǎn)	管鏡倍率1X，波長(zhǎng)范圍，
	相機(jī)接口	接口方向	中心和接口，焦點(diǎn)可調(diào)
	激光接口	光學(xué)特點(diǎn)	1X可見(jiàn)光	1X可見(jiàn)光	近紫外可見(jiàn)光紅外(nm)	紫外可見(jiàn)光紅外(nm)
		接口方向	400-700nm	400-700nm	365/532/1064	266/532/1064
		激光類(lèi)型	--	--	焦點(diǎn)可調(diào)
	濾色片		適合成像觀察

物鏡觀察		觀察	95毫米系列鏡頭 1X/2X/5X/10X/20X/50X/100X/150X/200X/250X/500X
物鏡觀察		激光切割			NUV NIR	UV NUV NIR
數(shù)碼成像版面尺寸			最大1英寸
光學(xué)系統(tǒng)照明			干電池LED照明
光纖冷光源照明			光纖冷光源150W鹵素?zé)?/span>/5WLED照明
其它選項(xiàng)

Z軸部分	電動(dòng)平臺(tái)XY	底座平臺(tái)	光源
高度可依據(jù)客戶需求定制	平臺(tái) 320x270mm	上平臺(tái)尺寸：400mm*350mm	LED光源：直徑90mm
標(biāo)準(zhǔn)尺寸：600mm	最小步長(zhǎng)-3200 細(xì)分 0.0625um	下平臺(tái)尺寸：470mm*400mm	功率：2W
可移動(dòng)范圍：500mm	最大行程130x100mm	高：70mm
寬：90mm	絲桿螺距 2mm
厚：60mm	推薦速度 10mm/S
	電機(jī)類(lèi)型 35 步進(jìn)
	重復(fù)精度 +/- 2um
	載重 10KG